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產品基礎信息

核心性能優勢

該板材核心亮點為 “低顆粒” 與 “百級無塵”,低顆粒特性可避免晶圓載具在使用中釋放微小顆粒,防止顆粒附著于晶圓表面導致芯片良率下降 —— 相比普通 PEEK 板材,其顆粒釋放量降低 99%,完全符合半導體行業 “零污染” 承載標準。

百級無塵生產與封裝流程,確保板材從出廠到使用全程不接觸外界粉塵,無需潔凈室二次清潔即可直接加工;同時,材質具備優異的尺寸穩定性(熱變形量≤0.05%),制作的晶圓載具在潔凈室溫度波動環境下,仍能維持精準尺寸,保障晶圓定位精度,且耐化學性強,可耐受潔凈室常用的異丙醇等清潔劑,無溶脹、變色。

適用場景

聚焦半導體潔凈室應用,具體場景:

(1)晶圓載具制作:如硅片承載托盤、晶圓傳輸盒內襯板,低顆粒特性避免污染晶圓,保障芯片生產良率;

(2)潔凈室設備配件:作為半導體光刻設備、沉積設備的內部結構件,百級無塵屬性適配設備潔凈運行需求;

(3)潔凈室輸送部件:如晶圓傳輸帶支撐條、導向件,低摩擦(摩擦系數 0.13)與低顆粒結合,避免輸送中產生粉塵或磨損。

采購與服務保障

(1)現貨供應:20x620x1250mm 規格百級無塵封裝現貨充足,下單后 24 小時內通過無塵物流發貨,避免運輸污染;(2)質量保障:每批產品附帶顆粒含量檢測報告與無塵等級認證,收貨后可在潔凈室環境下核驗潔凈度,不達標支持退換;

(3)技術支持:提供晶圓載具加工的無塵工藝建議,協助對接潔凈室加工廠家,確保成品符合半導體行業標準。